特點

• 步進電機可直接置于真空環境驅動，

  無需導入器

• 簡單實現高精度定位控制

• 可適配低真空至超高真空范圍（定制化）

• 耐熱溫度達200℃

適用真空等級范圍

適用場景

半導體制造設備、電子顯微鏡、加速器、同步輻射分析裝置、宇宙飛船機械臂等。

尺寸范圍

□42 mm ～ □86 mm，也可按需全定制。

定制能力

山洋電氣定制實例：

• 半導體晶圓檢測設備 / 電纜材質定制

• 空間站用機械臂 / 全定制

• 真空蒸鍍裝置 / 定制為帶齒輪的步進電機

• 電子顯微鏡 / 定制為帶齒輪的步進電機

• 核相關設備 / 步進電機的抗輻射定制

若您有特殊使用環境，歡迎隨時咨詢，我們為您量身打造最合適的真空電機方