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單晶爐需要控制的方面

更新時間:2011-07-04      點擊次數:3868
       單晶爐需要控制的方面

       單晶爐是一種在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備。

          一、晶體直徑   

          二、溫度   

          三、原料   

          四、泄漏率,氬氣質量等   

        

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