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INFICON薄膜鍍層控制儀的性能特點

更新時間：2015-09-18 點擊次數：2665

INFICON薄膜鍍層控制儀的性能特點：

a）INFICON Modelock技術確保的穩定性，甚至在非常低的速率下也能有zui高的分辨率和膜厚測量精度。

b）Auto Z由自動確定沉積材料的Z-比值來提高膜厚的精度。

c）同時多至6個蒸發源的共鍍膜。

d）彩色的TFT LCD顯示器使您對整個鍍膜進程一目了然。

e）掃描100毫秒樣品的分辨率為+/-0.0035Hz。

f）USB數據貯存用于截屏，配方貯存和數據記錄。

g）強有力的I/O具有靈活性（用擴展的輸入（28）和輸出（24繼電器，14TTL輸出）集成在單個或復雜系統中，和使用邏輯功能（100邏輯語句）

h）6DAC輸出標準，6個用于源控制，速率或膜厚監測的附加選件。

i）容納50過程，每過程200膜層，可鏈接zui大10,000膜層。

j）多傳感謝器取平均值，多至8傳感器。

k）顯示速率分辨高至0.001A/秒

l）4米XIU選件為大型系統提供可使用長的真空內傳感器電纜的能力。

m）以太網通訊選件。

n）RoHS認證

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