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Brooks VersaTorr 系列復(fù)合真空計(jì)
VersaTorr 是 Brooks Instrument三合一復(fù)合寬量程真空變送器，集成 MEMS 皮拉尼、壓電、電容隔膜（CDG）三種傳感，單支實(shí)現(xiàn)粗真空?中真空9 個(gè)數(shù)量級(jí)測量，替代多支單原理真空規(guī)，廣泛用于半導(dǎo)體 Load?Lock、鍍膜、分析儀器、熱處理爐Brooks Ins...。
BVT100 / BVT125：MEMS 皮拉尼 + 壓電，經(jīng)濟(jì)型復(fù)合規(guī)，BVT125 內(nèi)置大氣壓開關(guān)
BVT200 / BVT225 / BVT275：Tri?Sensor 三傳感器（皮拉尼 MEMS + 壓電 + 電容隔膜 CDG）；氣體無關(guān)測量，CDG 自動(dòng)調(diào)零，半導(dǎo)體工藝主力型號(hào)Brooks Ins...
超寬量程：\(7.5\times10^\ \mathrm\sim1000\ \mathrm\)（\(1\times10^\ \mathrm\sim1333\ \mathrm\)），一支覆蓋粗抽、過渡、中真空區(qū)間
BVT200 系列Tri?Sensor 三傳感架構(gòu)
高真空段：MEMS 皮拉尼熱傳導(dǎo)
中真空：電容隔膜 CDG（氣體成分無關(guān)，不受氣體種類影響）
近大氣壓段：壓電傳感器
CDG 支持自動(dòng)零點(diǎn)校準(zhǔn)，無需人工現(xiàn)場調(diào)零，減少維護(hù)Brooks Ins...
響應(yīng)速度：＜20?ms，適合快速抽氣 / 復(fù)壓 Load?Lock 腔體聯(lián)鎖控制
最多 3 路可編程固態(tài)繼電器設(shè)定點(diǎn)，直接用于設(shè)備聯(lián)鎖、泵閥控制
通訊：模擬 0?10V；數(shù)字 RS?232 / RS?485 Modbus；支持 USB 通信器現(xiàn)場配置、讀取診斷數(shù)據(jù)、參數(shù)修改
模擬輸出可自定義縮放，可兼容替代市面上多數(shù)老款復(fù)合真空規(guī)，硬件無需改板直接替換升級(jí)
表格
| 項(xiàng)目 | BVT100 / BVT125 | BVT200 / BVT225 / BVT275 |
|---|---|---|
| 測量原理 | MEMS 皮拉尼 + 壓電 | MEMS 皮拉尼 + 壓電 + 電容隔膜 CDG（Tri?Sensor） |
| 量程 | \(7.5\times10^\sim1000\ \mathrm\) | \(7.5\times10^\sim1000\ \mathrm\) |
| 氣體無關(guān)測量 | 僅高壓力段 | 5?×?10?3 ~1333?mbar 全程氣體無關(guān) |
| 自動(dòng)調(diào)零 | 無 | CDG 自動(dòng)零點(diǎn)補(bǔ)償，無需手動(dòng)調(diào)零 |
| 精度 | 中高壓段 ±0.5%；低真空段 ±5% | 中高壓段 ±0.5% FS；低真空段 ±5% |
| 真空接口 | DN16?KF；可選其他法蘭 | DN16?KF；BVT275 支持更高工況 |
| 電氣接頭 | 15?pin D?Sub | 15?pin D?Sub |
| 供電 | +24?VDC | +24?VDC |
| 工作溫度 | 0?50℃ | 0?50℃ |
BVT125：內(nèi)置大氣壓檢測開關(guān)；BVT225 帶大氣壓開關(guān)；BVT275 針對(duì)嚴(yán)苛工藝、抗顆粒污染，Inconel 隔離膜片版本。
半導(dǎo)體設(shè)備：Load?Lock 腔、預(yù)抽腔、前級(jí)管路
PVD/CVD 薄膜鍍膜設(shè)備
掃描電鏡、質(zhì)譜分析儀器
真空熱處理爐、釬焊爐
科研 / OEM 真空系統(tǒng)集成
BVT100：經(jīng)濟(jì)型，皮拉尼在低壓區(qū)氣體相關(guān)；BVT200：帶 CDG，工藝氣體變化工況優(yōu)先選。
BVT 系列僅覆蓋到中真空，不能測高真空 / 超高真空（\(<10^\ \mathrm\)），需要電離規(guī)擴(kuò)展。
法蘭標(biāo)準(zhǔn)主流為 DN16?KF；訂貨時(shí)指定法蘭、是否需要大氣壓開關(guān)、繼電器路數(shù)。
配套工具：Brooks Vacuum Sensor Communicator（USB），用于配置、診斷、讀取校準(zhǔn)信息。
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