GT800 NW50ARI8-4A集成式真空節流蝶閥

GT800：集成式真空節流蝶閥（閥門 + 控制器一體），韓國 GENIUS，半導體工藝真空壓力控制器

完整訂貨號：GT800 NW50ARI8?4A

NW50=KF?50 法蘭；ARI8?4A 為執行器 / 硬件配置后綴

型號分段解析

1. GT800一體化真空調速蝶閥，自帶數字 PID + 自適應自動調諧控制器，用于腔體閉環壓力控制，不是普通開關閥；面板數碼管顯示，DB9 傳感器口、DB15 通訊接口，24VDC 供電。

• 功能：通過調節蝶閥開度，穩定工藝腔真空壓力；半導體刻蝕、鍍膜、RTP 設備常用。

• 控制模式：PID / Adaptive 自適應自動調諧。

2. NW50ISO?KF50 快拆法蘭，通徑 DN50，卡箍密封，O?ring AS568?330。

3. ARI8?4A（執行器配置碼）

• ARI：電機驅動蝶閥執行器系列

• 8：執行器尺寸規格

• 4：硬件版本 / 行程參數

• A：密封材質（FKM 氟橡膠，半導體標準）

關鍵參數

• 法蘭：NW50(KF50)

• 驅動：步進電機蝶閥（非氣動角閥，之前我誤判成角閥，糾正：這是節流蝶閥，連續開度調節）

• 供電：24?VDC

• 接口：J1 DB9（真空規輸入），J2 DB15（設備通訊 / IO）

• 漏率：高真空 He 檢漏 1e?9 Pa?m3/s

• 適用壓力范圍：10?3?~1000?mbar 工藝閉環控壓