膜厚監(jiān)測(cè)和控制儀的概述：

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過(guò)程中測(cè)量速率和厚度。兩個(gè)傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個(gè)傳感器輸入為可選輸入。兩個(gè)錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號(hào)。

傳感器輸入可分配給不同的材料，在大型系統(tǒng)中平均分配以實(shí)現(xiàn)精確的沉積控制，或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過(guò)程中屏蔽傳感器，從而延長(zhǎng)傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s，用戶可自行選擇。此外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示。憑借四個(gè)繼電器輸入，SQM-160 可控制來(lái)源或傳感器屏蔽、信號(hào)時(shí)間和厚度設(shè)定點(diǎn)以及信號(hào)晶體失效。數(shù)字輸入允許外部信號(hào)啟動(dòng)/停止和歸零讀數(shù)。

膜厚監(jiān)測(cè)和控制儀的功能

兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量通道，另外四個(gè)可選

模擬輸出便于記錄速率/厚度

高分辨率選件：0.03 Hz，10 讀數(shù)/秒

RS-232 標(biāo)準(zhǔn)接口，可選擇連接 USB 或以太網(wǎng)