Trigon™ BAG552中真空至超高真空單真空計

對于需要獨立熱離子規(guī)技術(shù)的應用，Trigon™ 系列中包含了采用單一技術(shù)的 Bayard-Alpert 熱電離規(guī) BAG552。BAG552 專為壓力范圍為 5 × 10-10 ... 2 x 10-2 毫巴的氣體真空測量而設(shè)計。支持雙燈絲，具有出色的精度、可重復性和使用壽命。BAG552 還可與 INFICON 真空計控制器系列 VGC501、VGC502 和 VGC503 配合使用。

優(yōu)勢：

• 1、純粹的 Bayard-Alpert 測量系統(tǒng)，適用于超高壓和高壓測量范圍

• 2、雙燈絲設(shè)計

• 3、電隔離電子設(shè)備，避免雜散電流

• 4、滑動發(fā)射模式，避免在切換發(fā)射流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象

• 5、可移動校準數(shù)據(jù)芯片，延長了烘烤時間

• 6、設(shè)定點繼電器

• 7、明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面

• 8、模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口

• 9、可與 VGC50x 控制器系列配合使用

• 10、符合 RoHS 規(guī)范

• 典型應用：

• 1、半導體工藝中的壓力測量

• 2、工業(yè)鍍膜

• 3、高真空至超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制