B-A 型皮拉尼電容膜片真空計

大氣壓至超高真空三合一真空計 BCG450

INFICON Bayard-Alpert Pirani 電容式隔膜真空計 （Triple-Gauge™） BCG450 將三大不同技術的優勢融合在一個體積小、價格低的規管中，可以測量從 5×^10-10 至 1500 mbar（3.75×^10-10 至 1125 Torr）的過程壓力和基本壓。BCG450 的設計旨在替代三個傳感器（熱電離、加強對流 Prani 和真空開關），因而節省了成本和寶貴的工具空間。

好處

• BCG450 可節省成本和工具空間，降低真空測量儀器的安裝與設置的復雜性

• 壓力超過 10 Torr 時壓力測量不受氣體類型限制，可以為任何氣體混合物提供更為可靠的預抽真空室控制

• 皮拉尼聯鎖保護絲極，防止過早燒毀

• 高真空皮拉尼自動調節，減少操作員的干預

• 大氣氣壓下壓差測量消除了大氣壓力變化引起的不確定性

• 傳感元件帶有板載校準數據，易于更換，可保證再現性

• 備有可選的圖形顯示器和現場總線接口

• 符合 RoHS 標準

新聞

• 新！現在提供 ProfiNET 數字接口！

典型應用

• 對半導體過程和預抽真空室的壓力測量

• 工業鍍膜

• 在低至超高真空范圍中系統的一般真空測量和控制