一、型號全稱拆解

1. CDG045D

   CDG=Capacitance Diaphragm Gauge 電容薄膜規；045=45℃恒溫加熱；D = 數字型，帶雙路繼電器設定點、0~10V 模擬輸出

2. 3CC1：接口與電氣編碼

• 3：標配2 路壓力閾值繼電器（SP1/SP2，鍍膜機聯鎖工藝bi bei）

• CC1：標準 15 針 D-Sub 模擬信號接口，0~10V 線性輸出，無工業總線（EtherCAT/Profinet）

3. 351：量程編碼

   351 = 0.1 Torr（100 mTorr）滿量程

   測量區間：0.0001~0.1 Torr，高精度中高真空規，不受氣體種類影響（氬氣 / 氧氣 / 氮氣讀數一致）

4. 2300：法蘭規格

   DN16 ISO-KF 快卸法蘭（KF16），鍍膜腔體通用標準接口

二、核心硬件參數

1. 測量性能

• 恒溫：45℃控溫，抑制溫度漂移，等離子濺射工況長期穩定

• 精度：讀數的 ±0.15%（高精度級，半導體 / 光學鍍膜標配）

• 分辨率：0.003% FS

• 輸出：0~10V DC 線性模擬信號，可直連 PGD500、VGC 控制器、PLC 采集

• 兩路繼電器設定點：無源觸點，用于濺射腔真空聯鎖、工藝啟停保護INFICON

• 響應速度：≤30ms，壓力變化實時反饋

2. 結構與材質

• 傳感膜片：99.5% 高純氧化鋁陶瓷，耐等離子腐蝕、抗靶材濺射污染

• 真空接觸面：316L 不銹鋼，可輕度烘烤≤110℃法蘭溫度

• 允許過載：3bar；爆破壓力 6bar，意外進氣不易損壞

3. 電氣供電

• 供電：14~30V DC（工業標準 24V 供電）

• 功耗低，預熱速度比老款縮短 50%，開機快速進入穩定測量

三、配套設備（和你前面型號成套使用）

1. 搭配表頭：PGD500（398-802） 單通道真空顯示控制器，讀取 CDG 壓力數值、讀取繼電器閾值

2. 工藝設備：ADL GXB/HXB 雙極濺射電源，用于 PVD 磁控濺射腔體工藝真空精準監控

• 粗真空：PSG500 皮拉尼規 + PGD500

• 工藝高精度真空：CDG045D 0.1Torr 電容規

四、典型應用場景

1. 光學鍍膜、ITO 氧化物、絕緣靶雙極濺射生產線

2. 半導體 PVD、CVD、蝕刻設備工藝壓力閉環控制

3. 高精度真空實驗、薄膜沉積工藝真空閉環調節

4. 等離子工藝，避免皮拉尼規氣體修正誤差