INFICON 英福康 CDG025D-X3 電容薄膜真空計(jì)

一、型號編碼解讀

1. 3CB1：CDG025D-X3 標(biāo)準(zhǔn)常溫款基礎(chǔ)訂貨前綴

2. F51：量程代碼 = 1000 Torr，接口代碼 = DN16 ISO-KF 卡箍法蘭

3. 230B：電氣配置：0–10V 模擬輸出、雙路繼電器設(shè)定點(diǎn)、RS232 通訊、15 針 D-Sub 接頭

4. CDG025D-X3：產(chǎn)品系列名

• CDG=Capacitance Diaphragm Gauge 電容薄膜真空計(jì)

• 025D=SKY 系列數(shù)字電路板、內(nèi)置溫度補(bǔ)償

• X3 = 第三代數(shù)字電子，帶一鍵歸零、兩路壓力開關(guān)

二、核心技術(shù)參數(shù)（1000 Torr 量程）

1. 測量范圍

• 滿量程 FS：0～1000 Torr（0～1100 mbar）絕對壓力

• 最小可靠讀數(shù)：0.05% FS；zui di可測 0.01% FS

• 耐壓上限：400 kPa（可直接接觸大氣壓，耐受頻繁破真空沖擊）

2. 精度與穩(wěn)定性

• 測量精度：±0.2% 讀數(shù)（全量程zui you級）

• 分辨率：0.003% FS

• 零點(diǎn)溫漂：0.005% FS/℃；量程溫漂：0.01% 讀數(shù) /℃

• 無氣體依賴性：對 N?、Ar、O?、H?、工藝腐蝕氣體讀數(shù)一致，無需氣體修正

3. 響應(yīng)速度

• 高壓段（≥0.25 Torr）：30 ms

• 低壓段：≤130 ms，適合快速真空閉環(huán)控制

4. 氣路材質(zhì)（接觸介質(zhì)）

• 傳感膜片：高純氧化鋁陶瓷（耐酸堿、耐腐蝕、數(shù)百萬次壓力循環(huán)壽命）

• 閥體 / 法蘭：AISI 316L 不銹鋼

• 無油、無有機(jī)密封污染，符合半導(dǎo)體潔凈室標(biāo)準(zhǔn)

5. 電氣規(guī)格

• 供電：DC +14～+30 V，寬壓適配設(shè)備 24V 工控電源

• 模擬輸出：0～10.24 V 線性輸出（0V=0 Torr，10V=1000 Torr），輸出阻抗 0Ω 短路保護(hù)，負(fù)載≥10kΩ

• 開關(guān)量：2 路獨(dú)立浮地繼電器設(shè)定點(diǎn)（SP1/SP2），30V/0.5A DC，帶 1% FS 回差

• 通訊：內(nèi)置 RS232（9600 波特，二進(jìn)制協(xié)議，支持上位機(jī)讀取壓力、遠(yuǎn)程歸零）

• 接頭：15 針 D-Sub 公頭，帶狀態(tài)指示燈、面板一鍵歸零按鍵

6. 使用環(huán)境

• 工作溫度：+5～+50℃

• 法蘭最高烘烤溫度：≤110℃（不可高溫烘烤規(guī)體）

• 存儲：-20～+65℃；濕度 10–90% RH 無凝露

三、核心優(yōu)勢

1. 陶瓷傳感器：抗腐蝕、零點(diǎn)漂移極小，反復(fù)通大氣不易偏移，適合蝕刻 / CVD/PVD 半導(dǎo)體工藝

2. 全數(shù)字溫度補(bǔ)償，開機(jī)快速穩(wěn)定，破真空后恢復(fù)測量速度快

3. 內(nèi)置雙設(shè)定點(diǎn)，可直接聯(lián)動閥門、泵組、報(bào)警，無需額外比較模塊

4. 一鍵本地歸零 + 遠(yuǎn)程 RS232 歸零，長期維護(hù)簡單

5. 自帶傳感器雙層防污染屏蔽，減少工藝粉塵、副產(chǎn)物附著漂移

6. 法蘭標(biāo)準(zhǔn) DN16 KF，通用真空管路，拆裝便捷

四、典型應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體：刻蝕、CVD、PVD、ALD 設(shè)備腔體壓力監(jiān)測與閉環(huán)控制

• 光學(xué) / 光伏鍍膜、等離子清洗、熱處理氣氛爐

• 實(shí)驗(yàn)室高精度真空配比、氣體分壓控制、檢漏配套

• 工業(yè)真空設(shè)備、鋰電池真空注液、真空釬焊